2000年11月30日

住友重機械工業株式会社（社長　日納義郎）は、液晶・半導体装置向けに超精密位置決め装置を商品化し、「Nanoplane」シリーズに追加しましたのでお知らせします。

デバイスの微細化やスループットの向上に対応すべく半導体製造装置に搭載される位置決め装置は、これまで以上に高精度、高速化が求められています。
このたび、高速かつナノ（１０億分の１）メートルのレベルの位置決め精度を可能にした超精密ＸＹステージ「MODEL　SLHUS－370」を商品化しました。
停止精度は業界最高水準の±１０ｎｍ（ナノメートル）以下を達成し、次世代の半導体露光装置や検査装置で要求される位置決め精度を実現しました。また、最高速度は当社の既存モデルと比べ、２．５倍の秒速３００ｍｍと、さらに高速化しています。レーザ干渉計を採用するとともに、ステージのスキャニング（追従）性能を向上させる外乱オブザーバと、ヨーイングを抑えるアクティブ・ヨー・コントロールを組み合わせた制御機構を搭載しています。また、エアーベアリングとリニアモータ駆動による完全非接触駆動方式を採用しており、高速、高精度に加えてクリーン性、メンテナンスフリーを実現しました。
当社では、ボールネジを使った汎用ステージからリニアモータ駆動の超精密ステージまで対応しており、１軸ステージからＸＹＺθなどの多軸ステージまでの多様なラインアップを備える精密位置決め装置メーカーとしてユーザーニーズに応えます。

なお、超精密位置決め装置「MODEL　SLHUS－370」は、来週１２月６日より幕張メッセで開催されるセミコン２０００に出展します。

※「Nanoplane」は住友重機械の登録商標です。


１． 超精密ＸＹステージ「MODEL　SLHUS－370」の特長：
（１） レーザ干渉計の採用により停止精度±１０ｎｍ以下を達成。
（２） 独自開発の高性能、低コストのリニアモータを採用。
（３） 制御機構に外乱オブザーバとアクテイブ・ヨー・コントロールを
　　 採用（当社特許）。位置決め精度とスキャニング（追従）精度 を向上。
（４） X軸とＹ軸が同一平面上にある独自のＨ型ステージ構造の採用。
　　 低重心化で運動精度を向上し、同時にコンパクト化を達成。
（５） リニアモータとエアーベアリングによる完全非接触駆動により、
　　 クリーン性・メンテナンスフリーを実現。


２．主要仕様：
Ｘ軸、Ｙ軸共通
（１）ストローク： ３７０ｍｍ　
（２）スケール分解能： ０．６ｎｍ（レーザ干渉計）
（３）最高速度：　 ３００ｍｍ／秒
（４）停止精度：　 ±１０ｎｍ以下
（５）真直度（水平／垂直） １２ｎｍ／２０ｎｍ（制御補正値）

３．価格：
約３０００万円（仕様により異なります）