精密位置決め装置
ナノテクノロジーをリードする XYステージ
FPD・半導体製造装置の精密位置決めに用いるXYステージを取り扱っています。総合機械メーカとして培った、機構技術と独自の制御技術により、ナノメートルオーダの高い位置決め精度を実現します。
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特長
SA／SL Series 小型サーフェイスステージ
- 1低重心H型構造採用による高い速度安定性、位置決め精度を実現。
- 2搭載部品をオプション化することによりさまざまなお客様のニーズに対応可能。
- 3高速高加減速（1m／s、1G）時における高精度駆動を実現する反力処理機構。
用途
- 半導体／プリント基板
- 露光・高精度検査装置用XYステージ
TL Series スタック型リニアガイドステージ
- 1高精度、高スループットのステージを低価格で提供。
- 2リニアモータ駆動ステージによる高スループットを実現。
- 3独自の反力処理機構による高精度位置決めを実現。
用途
- 半導体／プリント基板
- 検査・加工装置用XYステージ
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