2001年07月16日

住友重機械工業株式会社（社長　日納義郎）は、液晶・半導体・光情報通信のデバイス製造、検査装置向けに精密位置決め装置（ＸＹステージ）「Nanoplane」シリーズを販売しております。このたび3軸の精密ＸＹＺステージMODEL SLHU-100を開発し製造、販売を開始しました。

デバイスの微細化、高度化は日進月歩を続けており、製造・検査装置に使用される位置決め装置は、これまでの二次元（ＸＹ）の運動精度の向上に加え、ステージの上下運動を加えた三次元（ＸＹＺ）の運動精度の向上が求められています。
MODEL SLHU-100では、当社独自の平面構造を採用し、ＸＹＺの3軸共リニアモータとエアーベアリングによる完全非接触駆動となっており、高精度に加えてクリーン性、メンテナンスフリーを実現しています。さらにＺ軸には精度向上のため、エアーバランス機構を採用しております。また、平面構造、精密加工のセラミック部材の採用で真直度（注１）0.3μｍを達成致しました。制御機構には当社独自開発の制御技術「外乱オブザーバー」と「アクテイブ・ヨー・コントロール」を搭載し、ステージの外乱を制御し、ヨーモーションを最小に押さえて追随誤差（注２）ＸＹ：±0.1μｍ、Ｚ：±0.3μｍと、ボールネジ駆動のＸＹＺステージに比べ１０分の１以下の高精度を達成しています。

※ 「Nanoplane」は住友重機械の登録商標です。

１． 精密ＸＹZステージMODEL SLHU-100の特徴
(1) ＸＹＺ軸共リニアモータとエアベアリングを採用し、完全非接触構造によりクリーン性、メン テナンスフリーを実現。
(2) 独自開発の高性能、低コストのリニアモータを採用。
(3) 当社独自の平面構造、精密加工のセラミック部材の採用により高精度を実現。
(4) 当社独自の制御機構「外乱オブザーバー」「アクテイブ・ヨー・コントロール」の採用により、高い追随精度を達成。

２． 主要仕様：

	Ｘ軸	Ｙ軸	Ｚ軸
１）　ストローク：	100mm	50mm	50mm
２）　駆動方式：	リニアモータ＋エアーベアリング
３）　最高速度：	30mm/s	30mm/s	30mm/s
４）　追随誤差：	±0.1μｍ	±0.1μｍ	±0.3μｍ
５）真直度（垂直水平）：	0.3μｍ	0.3μｍ	0.3μｍ

３． 標準価格：3000万円（仕様により異なります）

（注１） 真直度：直線軌跡に対する運動時の垂直・水平方向の位置誤差
（注２） 追随誤差：スキャニング動作時における指令位置と実際の位置の誤差