2001年11月27日

住友重機械工業株式会社（社長　日納義郎）は、液晶・半導体・光情報通信のデバイス製造、検査装置向けに、精密一軸ステージ「SLIM Stage（スリムステージ）」ユニットを開発し、２００２年１月より販売を開始します。

液晶・半導体などのデバイスは微細化、高度化が進む一方で、低価格化が進行しており、製造・検査装置に使用される位置決め装置も、運動精度の向上に加え、低コスト化が求められています。
当社は、既に発売している精密位置決め装置（ＸＹステージ）「Nanoplane」シリーズに加えて、コンパクトで低価格の汎用ステージ「SLIM Stage」ユニットを新たにシリーズ化します。このユニットは、リニアモータの固定子である磁石ヨーク部とエアガイドの固定子であるガイドバーとを一体化した新しいコンセプトの一軸ユニットです。リニアモータとエアガイドの採用による完全非接触構造が、接触摩擦等の外乱要因を極力抑え、高い速度安定性を実現します。スキャン動作を行う検査装置などに最適です。一軸の精密ステージとして使用することはもちろん、３台のユニットを組み合わせることにより、精密ＸＹステージとしても使用することができます。推力別に標準ユニットを設ける予定であり、各軸に応じた推力仕様のステージを組み合わせることで、幅広い用途のＸＹステージに発展します。新規にステージの設計を行う場合に比べ、設計作業を簡略化でき、短期間で安価な精密ステージを供給することが可能になります。
また今回、エアーベアリングの替わりに転がり案内を用いた廉価版のステージユニットも同時に発売します。

なお、当社では「SLIM Stage」ユニットを１２月５日より幕張メッセで開催される
セミコン２００１に出展します。

※「Nanoplane」は住友重機械の登録商標です。


【特　長】

(1) リニアモータとエアベアリングを一体化した完全非接触型アクチュエータ

(2) 完全非接触方式のため、高いクリーン性を確保

(3) 各種推力仕様に応じたステージ・ユニットを組み合わせることにより
幅広い用途のＸＹステージにも対応可能

(4) 独自開発の高性能、低コストのリニアモータを採用


【主要仕様】

ス ト ロ ー ク ： １００mm　～　１４００mm

駆 動 方 式 c ： リニアモータ＋エアーベアリング

絶対位置決め精度（※） ： ±０．５μｍ

繰り返し位置決め精度（※） ： ±５ｃｎｔ（注）

速度安定性（※） ： ±０．１％（＠５０ｍｍ／ｓ）
　　 ※印の仕様については使用するリニアスケールの分解能により異なります。


【価　格】
　 エアガイドタイプ ： １５０万円　～
　 転がり案内タイプ ： １００万円　～

　（注）ｃｎｔ：Ｃｏｕｎｔの略、リニアスケールの１目盛。