2002年03月19日

住重制御システム株式会社（住友重機械１００％出資、本社:千葉市稲毛区、社長：児新　栄太郎）は、液晶・半導体露光装置用リニアモータや半導体製造装置用ボイスコイルモータなど、高精度の位置決めに必要なモータ用ドライバ ｢ＳＤＬＮシリーズ｣を開発し、４月１日より販売を開始しますのでお知らせします。

近年、液晶・半導体製造装置に代表される最先端の機器には、高スループットのための高速移動、高速搬送能力とともに、デバイスの微細密化に対応した低速移動時の安定性とｎｍ（ナノメータ）単位の位置決め精度が求められています。｢ＳＤＬＮシリーズ｣は、この高度で相反する要求に応えるために開発したモータ用ドライバです。高速移動時（ＰＷＭ制御）と低速移動時（リニア制御）で制御方式を切り替えることにより、高速での大出力、低損失駆動と同時に、低速での滑らかな移動、ナノメータ単位の超高精度位置決めを実現しました。
指令入力形式は、パルス列、アナログ、デジタル方式の３種類が用意されており、パラメータ設定はWindows版設定ソフトによりパソコンから行うことができます。また、お客様のご要望に応じてカスタマイズも可能です。
｢ＳＤＬＮシリーズ｣は、最大電流2.8A（rms）から37.3A（rms）まで、全５タイプを用意しました。

1. 特徴
(1) 高速移動と超精密位置決めを実現
高速移動時には、30kHz以上のスイッチング周波数と、デットタイムレスＰＷＭ　制御方式によりモータを駆動し、大出力と同時に低損失を実現しました。低速 　移動時には、リニア制御方式に切替え超低リップル、超低ノイズによるモータ　　駆動を実現し、更にナノメータ単位の超高精度位置決めを可能にしました。

(2) 電源を内蔵
ドライバ部にドライバ用電源を内蔵し一体化しましたので、単独で設置ができます。また、設置スペースを有効に利用できるように、サイズをコンパクトにまとめました。

(3) 豊富な入出力
指令入力として、パルス列/アナログ/デジタル方式の３種類が用意されており、設定およびモニタ機能としてRS232C通信チャンネルを用意しています。デジタルI/Oとして、原点リミットスイッチ入力のほか8点/8点を標準として用意しました。また、必要な入出力を増設することも可能です。

(4) 機能拡張とカスタマイズ化
お客様仕様のドータボードを接続することにより、容易に各種の機能拡張ができます。
さらにお客様の特別なご要望に対してもカスタマイズが可能です。

(5) 各種エンコーダ入力に対応
ＰＬＤの採用により、各種インクリメンタルタイプ、アブソリュートタイプのエンコーダに対応可能です。また、各種省線タイプの接続にも対応可能です。

2. 主要仕様
制御軸数： 1軸
入力電源： 3相　AC200V　－15％～+10％
制御機能： 位置/速度/推力制御
制御方式： リニア制御/3相正弦波PWM制御
推力応答周波数： 500Hz以上
エンコーダ： 各種インクリメンタルおよびアブソリュートエンコーダ
指令入力形式： パルス列/アナログ/デジタルの各方式
寸法（W×H×D）： 140×350×190（mm）（SDLN-025A）
重量： 7キログラム（SDLN-025A）

3.用途
液晶・半導体製造装置、電子部品製造装置、半導体・電子部品装着装置などに使用されるリニアモータおよびボイスコイルモータ
（液晶・半導体露光装置用リニアモータ、半導体製造装置用ボイスコイルモータなど）

4. 価格
４０万円～

5. 売上目標
２００２年度　３００台　　　２００３年度　１０００台


【本件に関するお問合せ先】
住重制御システム株式会社　朋立事業センター　営業部　加藤または川津
電話　０４６８—６９—２３７０

【ご参考】
　住重制御システム株式会社について
本　　社： 千葉市稲毛区長沼原町８２６
朋立事業センター： 神奈川県横須賀市夏島町１９番地
電話番号： ０４６８‐６９‐２３７０（代）
資 本 金： ４億円（住友重機械工業（株）100％出資）
事業内容： 産業用サーボ制御装置、各種産業用システム、
電気、電子機器およびその応用システムの設計、製造及び販売
従 業 員： ２００名
売 上 高： ５０億円/年（連結）
設　　立： 平成１１年１２月１日
営 業 所： 大阪・名古屋　など

【添付写真】
超高精度ドライバ　｢ＳＤＬＮ-０２５Ａ｣