2003年10月22日

住友重機械工業株式会社（社長 日納義郎）は、岡山製造所（岡山県倉敷市）において、精密位置決め装置（ＸＹステージ）工場の拡張を進めてきましたが、このほど完成し、生産を開始しましたのでお知らせします。

岡山製造所のステージ工場では、液晶パネル製造装置用のＸＹステージを生産しています。
今回、クリーンルームの面積を２,５２０ｍ２から５,８７０ｍ２へ拡張したことで、岡山での　生産能力を年間３５台から１００台に引き上げました。本工場は、第６、第７世代の基板に　　対応した大型ＸＹステージを製造するため、装置の大型化に対応した門型クレーン２基を増設するとともに、既存エリアとの搬送用として、積載重量３０トン超のエア浮上式搬送台車を備えるなど、大型精密機器の製造に対応した設備にしています。拡張したエリアは、それぞれに室温調整が可能な、３つの独立した空間に分割することができ、半導体製造装置用の超精密ステージなど、様々な製品を同時に組み立てることも可能です。
当社は、１９９８年より、田無製造所（東京都西東京市）を拠点として半導体や液晶の製造・検査装置に組み込む精密ＸＹステージの製造を開始しました。昨年から液晶関連の大型ステージの需要が急伸したため、本年初めに液晶分野向けＸＹステージの専用工場を岡山製造所内に完成させ、これに対応してきました。

(クリーンルーム増設の概要)
着　工　 ２００３年８月８日
竣　工 ２００３年１０月２２日
拡張面積 ３,３５０ｍ２ (総面積５,８７０ｍ２)
製造品目 液晶パネル製造・検査装置用大型ＸＹステージなどの精密位置決め装置