2004年10月05日

住友重機械工業株式会社（社長 日納義郎）は、岡山製造所（岡山県倉敷市）において、精密位置決め装置（ＸＹステージ）工場の第３期拡張を進めてきましたが、このほど完成し、生産を開始しましたのでお知らせします。

岡山製造所のステージ工場では、液晶パネル製造装置用の精密ＸＹステージを生産しています。　　今回、クリーンルームの面積を５,８７０ｍ２から１０,１９０ｍ２へ拡張したことで、岡山での　生産能力を年間１３０台から２００台に引き上げました。今回の増設は昨年４月、１０月の増設に続き、３期目の増設工事となります。当社は、１９９８年より、田無製造所（東京都西東京市）を拠点として半導体や液晶の製造・検査装置に組み込む精密ＸＹステージの製造を開始しました。液晶関連の大型ステージの需要が拡大してきたため、昨年初めより液晶分野向け精密ＸＹステージの専用工場を岡山製造所内に完成させ、これに対応してきました。

本工場では、第６、第７世代の基板に対応した大型ＸＹステージを製造するため、装置の大型化に対応した門型クレーン２基を増設するとともに、搬送用として積載重量３０トン超のエア浮上式搬送台車を備えるなど、大型精密機器の製造に対応した設備にしています。拡張したエリアは、それぞれに室温調整が可能な、２個の独立した空間に分割することができ、半導体製造装置用の超精密ステージなど、今後半導体向けにも対応させていきます。


(クリーンルーム増設の概要)
　　着　工　　２００４年　６月　７日
　　竣　工　 ２００４年１０月　５日
　　拡張面積　４,３２０ｍ２ (総面積１０,１９０ｍ２)
　　製造品目
　　　　液晶パネル製造・検査装置用大型ＸＹステージなどの精密位置決め装置