2005年12月16日

住友重機械工業株式会社（社長 日納義郎）は、岡山製造所（岡山県倉敷市）において、精密位置決め装置（ＸＹステージ）工場の第４期拡張工事を進めてきましたが、このほど完成し、生産を開始しましたのでお知らせします。

岡山製造所のステージ工場では、液晶パネル製造装置用の精密ＸＹステージを生産しています。クリーンルームの面積を１０,１９０ｍ２から１１，８１８ｍ２へ拡張したことで、岡山での生産能力を年間２００台から２５０台に引き上げました。今回の増設は昨年１０月の増設に続き、４期目の増設工事となります。当社は、１９９８年より、半導体や液晶の製造・検査装置に組み込む精密ＸＹステージの製造を開始しました。液晶関連の大型ステージの需要が拡大してきたため、２００３年より液晶分野向け精密ＸＹステージの専用工場を岡山製造所内に建設し、これに対応してきました。

第４期工場では、第６世代以上の基板に対応した大型ＸＹステージを製造するため、装置の大型化に対応した門型クレーンを設置するとともに、搬送用として積載重量３０トン超のエア浮上式搬送台車を備えるなど、大型精密機器の製造に対応した設備にしています。


(クリーンルーム増設の概要)
　　着　工　　２００５年　９月２１日　　
　　竣　工　　２００５年１２月　８日
　　拡張面積　１，６２８ｍ２ (総面積　１１，８１８ｍ２)
　　製造品目　液晶パネル製造・検査装置用大型ＸＹステージなどの精密位置決め装置