2008年09月30日

住友重機械工業株式会社（社長　中村 吉伸）は、このたび高精度位置決め装置（ＸＹステージ※）の累計出荷台数１，０００台を達成しました。

当社のＸＹステージ事業は、１９８７年のＸ線露光用ＸＹステージ開発に始まり、１９９９年にＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）市場、２００１年には半導体市場へ参入しました。
ＦＰＤ市場では近年、液晶ガラス基板の大型化にともない、液晶パネル製造装置向けＸＹステージも大型化が進んでいます。当社は得意とする大型機械対応能力を活かし、同市場で高いシェアを獲得しています。また半導体市場では、微細化加工の増加にともない半導体製造装置向けＸＹステージも高精度化が進み、超精密ＸＹステージが市場から高い評価を受けています。


■製品について
当社では、ボールネジを使った汎用ステージからリニアモータ駆動の超精密ステージまで、幅広いラインアップを備えています。なかでもリニアモータの内製化により、ナノ（１０億分の１）メートルレベルの高精度な位値決めを得意としています。
主な製品としては
・ＦＰＤ製造装置向けのガントリ移動型リニアガイドステージ　ＧＬシリーズ
・半導体製造装置向けの小型サーフェスステージ　ＳＡ＆ＳＬシリーズ（Nanoplane®）
などがあります。

今後もＦＰＤ・半導体市場だけでなく、太陽電池や有機EL市場への展開を拡大させ、市場対応力を強化し、ユーザの期待にきめ細かく応えることができるメーカとして努力していきます。

※ＸＹステージ
基板、ウェハなどの加工対象物をＸ軸（左右）方向とＹ軸（縦）方向に移動、位置決めする機構。液晶パネルや、半導体ウェハの製造、検査工程に使用されます。